PVD&RPD光伏上下料機是HJT電池制備TCO導電膜工藝中的上下料設備，PVD制備TCO導電膜為雙面鍍膜，是HJT的第三道工序，對于精度的要求較高。載板與硅片的間隙理論精度0.1mm，實際在0.2mm以內就能滿足要求。上下料機通過皮帶傳輸硅片至夾具取片位，夾具夾持硅片后將硅片放入載板儲片槽內，再將裝滿硅片的載板送入工藝腔內鍍膜沉積。由于皮帶打滑或其它因素會導致傳輸硅片過程中存在位置差異，導致硅片不能精準放入載板儲片槽內，需要對硅片進行對位糾偏處理。
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設備痛點
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糾偏CT難以提升，調試周期長
目前國內設備節(jié)拍基本處于1.8秒以上，客戶期望突破0.7秒，且載板與硅片精度＜±0.15mm，增加業(yè)內競爭力。
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空間緊湊接線繁瑣，焊線及排查故障難
驅動器和網線數(shù)量多，絕對值電池盒較大且焊線難度高，占電柜空間且人工+線材成本高；客戶希望省空間省時省力。
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整套成本高
糾偏軸數(shù)多，整體成本偏高，客戶希望具有高性價比。
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解決方案
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一次對位糾偏技術
通過一次對位糾偏技術，將原先的2次拍照，2次糾偏，優(yōu)化為1次拍照，1次糾偏，減少對位平臺XYθ動作次數(shù)，大大提升設備節(jié)拍。
通過一次拍照獲得的數(shù)據(jù)進行處理，分別計算得出角度糾偏值，及角度糾偏后帶來的XY二次偏移值，按糾偏結構進行動作分解后，依次進行角度糾偏與XY糾偏。
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雷賽HJT對位平臺糾偏控制系統(tǒng)方案架構
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雷賽方案優(yōu)勢及價值
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綜合成本節(jié)省75%
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整套方案更高效
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安裝空間節(jié)省50%以上
4
主控帶軸能力更強
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雷賽HJT-PVD&RPD整套控制系統(tǒng)方案架構
